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Product classification
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产品名称：MC 气体标准质量流量控制器
发布时间：2023-12-22
产品型号：MC型
产品特点：MC 气体标准质量流量控制器控制响应很快、很稳定的质量流量控制器，可测量并控制低至2.5微升的流量，依照用户应用需求量身定制阀门孔径以确保达到很好工作效果。
MC 气体标准质量流量控制器产品介绍：
MC 气体标准质量流量控制器全球控制响应很快、很稳定的质量流量控制器，可测量并控制低至2.5微升的流量，依照用户应用需求量身定制阀门孔径以确保达到很好工作效果。
所有气体的满量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之间（ H2 为 10,000 SLPM）
监测四个变量： 质量流量、体积流量、压力和温度
控制三个变量之一：质量流量、体积流量或压力
预加载98 多种气体校准且可供用户选择
本地、模拟或数字控制，包括工业协议
技术参数：
稳态控制范围：满量程的0.01% – 100%
NIST 可追溯校准
标准精度：读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准
高精度：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准
重复性：±（读数的0.1% + 满量程的0.02%）
典型控制响应时间：快至 30 ms
预热时间：<1秒
兼容气体：98+ 纯气体和混合非腐蚀性气体
工作温度：–10°C 至 +60°C
满量程工作压力：160 PSIA (11 barA)